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SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質量流量計Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100$n特點：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba氣體質量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點： 通訊模式：數字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數字通訊二選一。

Horiba自動壓力控制器R600基本特點： 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數字RS485

Horiba質量流量計SEC-8000系列特點： 高精度±1.0%設定點 高速響應 超潔凈設計 符合RoHS標準

SEC-Z500X系列 Horiba質量流量計高精度±1.0%設定點。該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由HORIBA STEC公司的標準氣體測量系統測量。 高速響應：裝配“可變PID系統”，可在任意兩個設定點之間實現1秒響應。可變PID根據流量點設置不斷變化。

horiba流量計SEC-Z700S可以直接測量管道內流體的質量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。